突破技术垄断壁垒 国产AMHS挺进半导体“主战场”

　　江苏苏州，成川科技（苏州）有限公司（以下简称“成川科技”）AMHS Demo线展厅内，银色天车在四米轨道上疾驰而过，每秒5.2米的极速穿梭中，晶圆盒抓取定位误差精准锁定在±1毫米--这条跃动的“空中走廊”，宣告着中国在半导体自动物料搬运系统（AMHS）领域实现历史性突围。

　　AMHS被喻为晶圆厂的“空中高速公路”，天车需在万级洁净环境中实现7×24小时无间断精准搬运。面对日本大福与村田构筑的专利壁垒，成川科技创始人顾晓勇带领团队开启系统级创新。“我们不仅要突破机械设计、运动控制等模块技术，更要攻克ISO Class 100超精密制造工艺与MTBF≥2000小时的稳定性验证体系。”这位技术出身的掌舵人坦言。

　　2022年秋，华天科技先进封装生产线的测试车间，国产AMHS正经历最严苛的“成人礼”--168小时无故障连续运行测试。这不是简单的耐力测试，而是对研发、生产、调试全周期质量体系的终极检验。中佳知识产权专家李申评价：“这不仅是设备创新，更是符合新质生产力要求的技术范式重构。”

　　在半导体设备出口管制的背景下，成川科技实现导轨电机、精密传感器等核心部件100%国产替代。目前，成川科技正联合上下游攻关晶圆厂特殊环境适应性难题，力求在天车防微振、防静电等关键指标上实现突破。

　　从追赶者到并行者，国产AMHS的突围轨迹勾勒出新质生产力的培育路径，以智能调度突破技术垄断，以数字孪生重构制造流程，以完全自主筑牢产业根基。在这场攸关产业链安全的科技攻坚中，中国创新力量正用硬核突破重塑全球半导体的竞争格局。（任徐颖）

　　转自：中国工业报

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