国内商用12英寸全自动晶圆探针台制成

　　日前，长春光华微电子设备工程中心有限公司宣布，已研制成功国内首台商用12英寸全自动晶圆探针台。

　　据了解，该产品是半导体 （包括集成电路、分立器件、光电器件、传感器）行业重要的检测装备之一，其应用可大幅度降低半导体元器件的制造成本。但由于技术门槛较高，目前市场处于双强垄断态势，两家日本公司东京电子和东京精密占据了全球绝大部分市场份额，韩国的同类产品也有一定的销量。

　　为打破国外垄断，长春光华公司于2015年正式立项开展12英寸全自动探针台产品的研发。经过不懈努力，先后突破了全自动上料机械手的设计、大行程微米级XY移动平台精密定位控制技术、高刚度高稳定性探针接触Z向移动平台精密控制技术、基于图像识别的晶圆和探针精密测量和对准技术、大数据量的信息处理和计算机控制技术、高平面度和高热稳定性的晶圆承载盘技术等六项关键技术，推出的第一代产品机，其安全性和可靠性已得到充分验证，从而具备了全面推向市场，替代国外进口设备的能力。

　　相关权威专家还介绍说，作为国内第一款商业化的12英寸全自动晶圆测试探针台，该产品各项性能指标已达到或接近国际水平。更重要的是由于替代了进口，还将极大地降低其采购及维护成本，并确保提供快速售后服务，进而对我国半导体产业的发展产生积极的促进作用。

　　需要特别提及的是，长春光华公司是中国科学院长春光学精密机械与物理研究所机电工程研究部于2002年转制而成立的一家高科技公司，其中晶片电阻生产设备市场占有率达70%以上。（王斌）

　　转自：中国工业报

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