不止缺芯还缺气 我国电子芯片用特气80%依赖进口

　　“中兴事件让国人深刻体会到了缺‘芯’之痛，但我们不止缺芯，还缺气。”在日前举行的中国工业气体工业协会第28次会员代表大会暨2018年年会上，中国气体协会秘书长洑春干告诉记者，目前电子芯片生产用特气我国仅能生产约20%，其余全部依赖进口。

　　据洑春干介绍，电子气体作为极大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产中不可缺少的基础和支撑性材料之一，被广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等工艺，没有这些基本原材料，其下游的IC、LCD/LED、光伏太阳能产品就无法制造。据业内不完全统计，2016年我国晶圆制造电子材料市场总额达343.03亿元，较2015年增长6.9%，2017年约为360亿元，未来仍将保持增长态势。

　　经过近10年发展，国内电子气体行业涌现出一批生产质量稳定，能够被半导体客户接受的电子气体生产企业，如中船重工第七一八研究所、中昊光明化工研究设计院有限公司、黎明化工研究设计院有限责任公司、佛山市华特气体有限公司等。从2012年至2016年，国内电子气体企业生产销售额占中国晶圆制造电子气市场份额由3.8%增加至25.0%，预计2017年将达28.4%。国内电子气体市场总量接近全球市场的1/3，且在不断提高，但国内电子气产品的自给率却非常低，近八成产品依赖进口。

　　苏州金宏气体股份有限公司董事长金向华、广东华特气体股份有限公司总经理傅铸红等业界代表也表达了上述观点。傅铸红告诉记者，从品种上来说，目前常用的电子气体纯气有60多种，混合气有80多种，但中国能真正实现国产化的只有20多种。

　　电子气体国产化迫在眉睫，是与会代表达成的共识。“核心技术靠化缘是要不来的，也是花钱买不来的，中国必须掌握电子气体核心技术。”洑春干呼吁国内企业加大自主创新，用实际行动为“中国芯”打气。他说，国家对电子气体的发展一直比较重视，仅去年就出台了多项鼓励政策。譬如科技部印发的《“十三五”先进制造技术领域科技创新专项规划》提到要重点研发超高纯电子气体；发改委印发的《增强制造业核心竞争力三年行动计划（2018～2020年）》提到了高纯氯气、氯化氢、氧硫化碳（COS羰基硫）、乙硼烷、锗烷、高纯锗烷、砷烷、高纯砷烷、磷烷、高纯磷烷、乙硅烷、高纯溴化氢、高纯乙硅烷等系列电子特气。国内企业应抓住时机，通过自主创新，增加产品种类，提高国产化率。譬如，加大高危、易燃易爆、腐蚀性、剧毒气体的纯化、监测、充装、输送、贮存技术以及安全环保技术、现场配气技术、回收与再利用技术等的开发力度。

　　傅铸红则强调要加强电子气体的品质管理。他说，有些电子气体国内并不是完全不能生产，但在技术精益性上与国际先进水平有差距。譬如氯化氢，国内企业也可以做到水分含量满足指标要求，但今天能满足，明天却不一定能满足，难以确保气体质量在高水平恒定。

　　据记者了解，中船七一八所已研制出高纯三氟化氮、六氟化钨气体和三氟甲磺酸系列产品，并实现规模化生产，填补国内空白。截至目前，其三氟化氮、六氟化钨生产规模均位居国内第一、世界前三，基本打进了国内所有的半导体、液晶面板及太阳能行业厂家及全球知名的半导体厂家；SiF4、C2F6、C3F8、八氟环丁烷、HF、氯化氢、COF2等7种电子气体及10种混合气体的研发也已顺利完成。金宏气体的超纯氨、八氟环丁烷、高纯二氧化碳等产品已形成规模化生产，高纯氯化氢、高纯氯气等系列产品也将陆续投入市场。

　　此外，近来国内对锗烷、砷烷、磷烷、C4F6等气体产品的研发也有所突破。（记者 庞利萍）

　　转自：中国化工报

　　【版权及免责声明】凡本网所属版权作品，转载时须获得授权并注明来源“中国产业经济信息网”，违者本网将保留追究其相关法律责任的权力。凡转载文章及企业宣传资讯，仅代表作者个人观点，不代表本网观点和立场。版权事宜请联系：010-65363056。

延伸阅读