集成电路装备精密零部件国产化 为攀登制造业“珠穆朗玛”提供基石

　　 中国最大宗的进口产品是什么？答案是芯片。数据显示，从2006年开始，中国集成电路产业产品的进口超过石油成为中国最大宗进口产品。2013年至2016年，中国每年芯片进口额超过2000亿美元。其中，2016年进口金额为2270.26亿元，是同期原油进口金额的两倍。

　　随着5g、人工智能和物联网的发展，我国对芯片的需求将进一步走强。芯片广泛应用于社会生活的各个方面，像能源、交通、运输、原材料等基础产业一样，是支撑社会经济运行的基础，如果基础产业供给能力不足，国民经济增长将受到影响。因此，想要实现经济真正发展，我国芯片必须摆脱对外的高度依赖。要支撑集成电路产业发展，ic装备产业至关重要。

　　ic装备产业是生产半导体器件、集成电路芯片和平板显示器的专用生产设备，体现一个国家现代装备制造业水平和实力的重要标志，因占据了科技制高点，被称为制造业的“珠穆朗玛峰”。

　　集成电路体系复杂，对应用材料纯度极高，在6个9甚至10个9以上，即材料纯度需要达到99.9999%甚至99.99999999%。此外，集成电路有一个基本特征：每一代技术的尺寸缩小1/3，对应整个集成度提高4倍。因此，ic设备企业对关键零部件在原材料的纯度、质量稳定性等方面要求极高，没有满足ic装备企业工艺要求的零部件供应，ic装备产业发展无法想象。

　　“富创生产几乎覆盖集成电路的所有零件，来图加工，以我们的组织加工能力保质、保量、按时完成零件生产。”12月6日，记者跟随“制造业高质量发展”网络主题活动来到位于辽宁沈阳的富创精密设备有限公司，公司财务副总江山向记者介绍了我国ic装备零部件精密制造现状。
　　
　　2008年，我国将“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”列入国家科技重大专项(简称“02专项”)并开始实施，集成电路高端装备和材料从无到有，形成良性发展的产业链和自主知识产权体系。

　　“集成电路体系好比一个金字塔。在专项实施之前没有形成金字塔；专项实施之后我们做出了集成电路的材料，有了装备、工艺和封装，金字塔搭起来了。” 2017年的一场发布会上，国家科技重大专项技术总师、中科院微电子研究所所长叶甜春这样介绍集成电路专项实施取得的攻关成果。

　　举国发展集成电路的背景下，富创诞生了。通过02专项的支持，富创实现了ic装备精密零部件国产化的从无到有，形成了服务我国ic装备的基本能力，支撑了集成电路装备企业长足发展，关键零部件、核心技术打破了国外对中国集成电路产业的技术封锁。

　　“零件生产需要繁杂的认证。”江山说，“先要通过第三方机构对企业生产体系认证，其次是首批生产1个零件，经过6个月认证周期，通过之后进行小批量生产5-6个零件，还要经过6个月认证，再次通过之后才能进行大批量生产。” 富创生产的零件已经得到日本、美国等国厂商认证。

　　人工智能技术为经济发展注入新活力，制造业是人工智能技术的重要应用领域，推动制造业转型升级，提升国际竞争力。人工智能对ic装备零件制造的影响同样巨大。集成电路关键设备零部件具有多品种，小（微）批量、高精度、制造过程高度复杂等加工特点，智能产线、数字化仿真、协同与集成等智能化手段建成集成电路关键设备零部件柔性数字化车间，能够有效降低整机企业成本，提高竞争力。

　　在国家智能专项项目支持下，富创已建成数字化车间，实现零件柔性、高效、智能化生产。江山说，富创要做的就是给ic装备提供零件支撑，降低ic装备零件成本，推动国产化替代趋势。

　　需要承认的是，我国集成电路还停留在赶超阶段，国内产品无法完全满足市场需求。同时，集成电路作为全球化产业，无论主动与否，国内产业都要参与全球竞争。江山说，富创在给国内外ic装备企业提供零件的同时，积极向日本等国学习，强化自己的技术。（曹静）

　　转自：中国日报网

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