300mm多线切割机研制成功，打破依赖进口现状

　　本报讯 近日，中国电子科技集团公司简称中国电科承担的国家重大科技专项——— 极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项课题之一的300mm多线切割机研制成功，该设备具有完全自主知识产权。该设备的研制成功，打破了国内生产线上运行的12英寸多线切割机全部为进口设备的现状。

　　这个项目是由中国电科自行设计、配套，攻克了衡张力控制、工件台精密运动、切割均匀性及表面切割质量等关键技术，克服了断线、移动臂移动失位、钢丝带不进砂浆等实际问题，研制成功的实用化机型能够一次切割出400多片满足生产线要求的12英寸硅片。

　　该项技术已向太阳能硅材料加工领域延伸。300mm多线切割机技术应用到太阳能电池行业，可一次性切割156mm×156mm的硅片5000～6000片。目前中国电科已与国际大型太阳能硅片企业签订战略合作协议，进行多功位线锯的研发，2011年6月前后将完成商业机型的生产线工艺验收。

　　据悉，中国电科已经初步形成了601太阳能多线切割机、300mm多线切割机等系列化的多线切割设备，占据了国内线切割技术的制高点，满足了不同行业、不同规模客户的不同需要。

　　据了解，“十一五”期间，中国电科为我国国防和国民经济建设提供了一大批先进的电子信息系统和装备，研制出一大批关键元器件。目前，中国电科民品产业已初步形成安全电子、能源电子、交通电子、软件与信息服务、通信网络与卫星应用、新型元器件、先进制造装备与仪器仪表、现代物流服务等8大主导产业板块。（任爱青）

来源：中国电子报

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