我国研制成功300毫米多线切割机

中国电子科技集团公司总经理王志刚1 月12 日透露，由中国电科承担的国家重大科技专项“ 极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项”课题之一的300 毫米硅材料多线切割机近日研制成功，从而打破了国内生产线上运行的12 英寸多线切割机全部为进口设备的现状。

王志刚在中国电科2011 年工作会议上介绍说，这个项目是由中国电科自行设计，攻克了多项关键技术，研制成功的实用化机型，能够一次切割出400多片满足生产线要求的12 英寸硅片。这项技术已向太阳能硅材料加工领域延伸，目前中国电科已与国际大型太阳能硅片企业签订战略合作协议，进行多功位线锯的研发，2011 年6 月前后将完成商业机型的生产线工艺验收。中国电科是我国军工电子国家队和国民经济信息化主力军。“ 十一五”期间中国电科为我国国防和国民经济建设提供了一大批先进的电子信息系统和装备，研制出一大批关键元器件。

来源：中国质量报

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