紫外全固态激光源是指输出波长在200纳米以下的固体激光器,与同步辐射和气体放电光源等现有光源相比,具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相干性。长期以来,深紫外波段(波长小于200纳米)一直缺乏实用化、精密化激光源,制约了深紫外波段科学仪器和前沿研究的发展。
我国科学家自上世纪90年代初开始研究深紫外非线性光学晶体和激光技术,经过20多年努力,日前在国际上首次生长出可直接倍频产生深紫外激光非线性光学晶体,并发明棱镜耦合技术,率先发展出实用化的深紫外固态激光源,使中国成为当今世界上唯一掌握深紫外全固态激光技术的国家。
此后,我国科学家再接再厉,利用独创、独有的深紫外技术和深紫外激光非线性光学晶体,已成功研制出深紫外激光拉曼光谱仪、深紫外激光发射电子显微镜8台深紫外固态激光源前沿装备,均为当 今世界独有的科研利器,居深紫外领域国际领先地位,在物理、化学、材料、信息、生命、资环、地质等学科领域均有重大的应用价值。
深紫外激光源对于现代科技发展非常重要,例如,193纳米光刻技术所需光源,纳米微加工技术,原子、离子的激光冷却技术,以及各种现代化仪器所需的深紫外激光源等。
来源:中国航空报
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