国产首台套LED核心装备成功下线

　　本报讯 上海理想能源有限公司研制开发的LED核心制造装备———金属有机物化学气相沉积MOCVD设备日前成功下线，该公司已与我国台湾一家光电公司签订了37台套设备应用验证合同，为下一步投入市场、大规模产业化奠定了基础。

　　LED作为重要的新型绿色光源产品，MOCVD设备是整个LED照明产业链中最关键的制造装备，其设备成本占整个芯片设备成本的50%左右。由于技术含量高，制造工艺复杂，目前全球的MOCVD设备市场主要被国外两家设备供应商所垄断。

　　上海理想能源设备有限公司利用不到两年的时间自主研制了具有单腔产能84片2英寸外延片的单腔体MOCVD反应腔，以及3腔体252片产能的簇式多腔体自动化MOCVD系统，突破了国外同类MOCVD装备的技术开发壁垒。（耀文）

来源：中国电子报

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