晶盛机电保持国内全自动单晶硅生长炉技术领先地位


时间:2014-08-20





  在深交所互动易平台表示,作为国家科技重大专项《极大规模集成电路制造设备及成套工艺》之“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”课题的TDR130A-ZJS全自动单晶硅生长炉产品的承担单位,浙江晶盛机电股份有限公司已掌握半导体级大直径硅单晶生长设备设计、制造的先进技术,并将继续保持国内全自动单晶硅生长炉技术的领先地位。

  晶盛机电是一家专业从事晶体生长设备的自主研发、制造与销售的高新技术企业。目前主营产品有全自动单晶硅生长炉、多晶硅铸锭炉以及单晶生长炉的控制系统;新产品有区熔硅单晶炉、蓝宝石晶体炉以及单晶硅棒切磨复合加工一体机等。产品分别应用于光伏硅电池、半导体和集成电路、IGBT功率器件、LED光电子等领域的晶体材料制备,四大领域均属国家重点发展的战略性产业。公司产品技术国内领先、国际先进,高端市场占有率第一。

来源:机电在线



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