1月30日，在德州职业技术学院集成电路制造工艺实践中心，记者见证了一个芯片诞生的过程。“刚才的步骤是光刻，通过匀胶、曝光、显影，利用我们分辨率达微米级的光刻机，将设计好的电路图形‘印刷’到硅片上，这是决定芯片功能精度的关键一步。”德州职业技术学院集成电路学院教师赵宁宁介绍。
以往，学生毕业后进入企业，面对复杂精密的工艺，需要很长的适应期。受限于设备、场地和成本，职业院校难以提供覆盖全链条的、真实的制造体验。
为打破瓶颈，依托全球集成电路产业综合竞争力百强城市优势，德州职业技术学院“复现”了一个真实的、可运行的微型芯片制造实训环境——集成电路制造工艺实践中心。在该中心，学生可亲手将一枚光秃秃的硅片，制造成一颗具备特定功能、可测试可应用的集成电路芯片。
据了解，能具备全真、闭环、可实际制造芯片的工艺链的职业院校实训基地，多集中在长三角、珠三角等产业高度集聚区。德州职业技术学院是我国北方地区首家真正打通了这条“校园芯片制造之路”的高职院校。集成电路制造工艺实践中心是我国北方地区职业院校中首个真正实现“从硅片到芯片”全流程制造的实践教学平台。
集成电路制造工艺实践中心构建了一条完整的“教学型”芯片制造短流程线。它涵盖了芯片制造最核心的六大模块：薄膜制备、光刻图形化、刻蚀、清洗去胶、封装键合、功能测试。从一片普通的硅片进入中心开始，它将经历：薄膜沉积、光刻与图形化、刻蚀、后道工艺、测试与验证。整个流程，从“硅片”入到“芯片”出，全部在集成电路制造工艺实践中心完成。
“我们的工艺能力可以达到3微米精度，集成电路制造工艺实践中心对于教学实训、技能培养和初期的产品开发验证而言，是很宝贵和先进的平台。”德州职业技术学院集成电路学院负责人崔健说，当学生手持自己参与设计、自己操作设备、自己封装测试的芯片，看到它成功驱动一个演示系统时，那种成就感和对专业的认同，是任何虚拟仿真或片段化实训都无法给予的。
对产业而言，德州职业技术学院提供了一个“人才培养前置基地”和“技术验证微缩平台”，在满足社会需求、促进德州市集成电路产业链延链补链等方面发挥积极作用。企业可以将部分初级工艺培训前置到学校，学生毕业即能上手，大大缩短了企业培训成本。本地中小微科技企业、创新团队，也可以在该中心进行小批量流片、工艺试验和原型验证。
“围绕这条真产线，学校的课程改革、教材开发、师资锻炼、‘岗课赛证’融通，都有了坚实的依托，助推职业教育，从模拟走向真实，从跟跑走向在特定领域的并跑甚至领跑。”德州职业技术学院党委委员、副院长梁强表示。
转自：中华网
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